温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法，包括如下步骤：将三氟化硼原料气按质量分成等量的两份，称为第一三氟化硼原料气和第二三氟化硼原料气，分别进入第一测试流程和第二测试流程。试验证明，本发明的方法可以准确地测量三氟化硼络合物生产...
该专利属于苏州金宏气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州金宏气体股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。