下载一种垂直结构光分路器及其制备方法的技术资料

文档序号:14265590

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本发明公开了一种垂直结构光分路器及其制备方法,该光分路器能缩短信号光的分光区长度,减小平面波导型光分路器在平面方向所占面积。包括衬底层,在衬底层的上表面制作有下包层;在下包层的上表面制作有一号矩形干涉波导,在一号矩形干涉波导的上表面制作有二...
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