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一种采用红外烧结炉制备三氧化钼纳米结构及其薄膜的方法技术
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下载一种采用红外烧结炉制备三氧化钼纳米结构及其薄膜的方法的技术资料
文档序号:1426531
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本发明公开了一种采用红外烧结炉制备三氧化钼纳米结构及其薄膜的方法,其方法为:采用红外烧结炉,在大气环境下通过加热钼蒸发源并使其蒸发;所蒸发的钼和大气中的氧气反应形成氧化钼,并沉积在衬底基板上形成三氧化钼纳米结构及其薄膜。本发明的目的在于,提...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。
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