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横向高压功率器件的结终端结构制造技术
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文档序号:14265122
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本发明提供一种横向高压功率器件的结终端结构,包括直线结终端结构和曲率结终端结构;曲率结终端结构包括漏极N+接触区、N型漂移区、P型衬底、栅极多晶硅、栅氧化层、P‑well区、源极P+接触区;曲率结终端结构中的N+接触区、栅极多晶硅、栅氧化层...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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