下载横向高压功率器件的结终端结构的技术资料

文档序号:14265122

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本发明提供一种横向高压功率器件的结终端结构,包括直线结终端结构和曲率结终端结构;曲率结终端结构包括漏极N+接触区、N型漂移区、P型衬底、栅极多晶硅、栅氧化层、P‑well区、源极P+接触区;曲率结终端结构中的N+接触区、栅极多晶硅、栅氧化层...
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