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本发明公开了一种电磁驱动一维微镜，其特征在于，包括：基座和镜面，所述镜面通过扭转梁架设在基座上，并绕扭转梁任意角度旋转；所述镜面的一面为反射用反射面，另一面上设有用于产生输出力矩的电磁线圈。通过上述方式，本发明微镜整体结构紧凑，两块磁铁将镜...
该专利属于常州创微电子机械科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州创微电子机械科技有限公司授权不得商用。

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