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本实用新型公开了一种具有球差校正功能的装置，设置在光刻物镜中，所述具有球差校正功能的装置包括平板透镜和温度调整机构，所述平板透镜设置在所述温度调整机构中；本实用新型所述具有球差校正功能的装置，通过控制温度来调整光线经过所述平板透镜的光程来补...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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