下载再结晶碳化硅窑炉及其制备方法的技术资料

文档序号:14254244

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本发明公开了一种再结晶碳化硅窑炉,包括炉体及其内设置的加热装置,其特征在于,所述炉体包括炉架及其外设置的罩壳,炉架包括四根呈四角分布的多孔再结晶碳化硅立柱、连接支撑于多根再结晶碳化硅立柱上的上、中、下层载物架,载物架由连接于相邻两多孔再结晶...
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