下载用于光收发器件抗干扰的半导体器件的技术资料

文档序号:14243732

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本发明提供了一种用于光收发器件抗干扰的半导体器件,所述半导体器件包括:自下而上设置的背侧金属化层、p++承载晶圆层、P型外延层、隔离层以及金属层;背侧金属化层作为衬底,其上形成p++承载晶圆层,p++承载晶圆层上形成P型外延层,在P型外延层...
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