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一种锥形磁场与电场复合的定域沉积加工装置制造方法及图纸
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下载一种锥形磁场与电场复合的定域沉积加工装置的技术资料
文档序号:14243143
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本发明公开了一种锥形磁场与电场复合的定域沉积加工装置,通过在电沉积系统的阳极和阴极间施加一个倒圆锥形磁场,使沉积离子在受到电场力驱动向阴极运动过程中,同时受磁场作用产生洛伦兹力;沉积离子在电场和磁场的共同作用下沿磁感线方向做螺旋前进运动,从...
该专利属于江苏大学所有,仅供学习研究参考,未经过江苏大学授权不得商用。
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