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一种导电薄膜材料残余应力的在线测量方法及测量装置制造方法及图纸
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下载一种导电薄膜材料残余应力的在线测量方法及测量装置的技术资料
文档序号:14239886
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本发明提出了一种导电薄膜材料残余应力的测量方法及其对应的测量装置。本发明利用静电驱动Pull‑in(吸合)原理设计测量结构,并通过采用同步加工控制两个测量件的参数的关联性,通过限制两个测量件总应变能的相关参数,进而约束其总应变能的偏微分方程...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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