下载一种芯片结构及其封装方法的技术资料

文档序号:14233308

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本发明涉及半导体器件的制作和封装技术领域,尤其涉及一种芯片结构及其封装方法,通过芯片生产过程中,或者在芯片封装过程中,在蚀刻钝化层打开焊垫(bonding PAD)后,加一步热处理,以在焊垫表面形成铝合金,来让铝表面硬化,这样在不影响键合黏...
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