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一种能承受高过压的具有扩展的压力信号输出的硅片压力传感器，包括：基部，所述基部具有高压接触部；和膜片，所述膜片定位在基部上，并且具有与基部相反的外部顶表面。所述外部顶表面被限定在封闭周边内，并且外部侧表面从封闭周边的整体向下朝基部延伸。膜片...
该专利属于罗斯蒙特公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗斯蒙特公司授权不得商用。

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