温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种汞灯角分布测试装置，包括测量模块、位置调整模块和信号控制模块，汞灯设置在所述位置调整模块上，所述测量模块设置在所述汞灯的焦面上，所述信号控制模块用于控制所述位置调整模块动作以及处理所述测量模块的测量信息并控制所述位置调整...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。