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本实用新型涉及一种阀装置，所述阀装置具有：‑管路；‑阀；‑止回阀；‑工艺流体体积，其中管路通入到工艺流体体积中，其中阀在管路中设置成，使得借助于阀能够阻断穿过管路的流；其中在工艺流体体积和阀之间设置有止回阀，使得在工艺流体体积方面的特定的超...
该专利属于西门子公司所有，仅供学习研究参考，未经过西门子公司授权不得商用。

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