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本实用新型涉及一种氦气真空查漏装置，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作效率和真空查漏结果的准确性，降低了真空查漏工作的人力成本。本实用新型包括氦气质谱分析仪和氦气供应装置，所述的氦气供应装置包括氦气储存压力罐、减压阀、压力表、调节阀、流量...
该专利属于华电电力科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过华电电力科学研究院授权不得商用。

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