下载一种高均匀性的红光LED外延结构及其制备方法的技术资料

文档序号:14208055

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本发明涉及一种高均匀性的红光LED外延结构及其制备方法,包括由下而上依次设置的GaAs衬底、AlGaAs缓冲层、GaAs缓冲层、AlGaAs/AlAs DBR、AlInP N限制层、AlGaInP N波导层、MQW量子阱有源层、AlGaIn...
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