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本发明涉及一种用于在基底的表面上沉积功能层的等离子涂覆方法和一种用于执行该涂覆方法的装置。为了提供能够实现较高的涂覆速度且在正常大气条件下进行的等离子涂覆方法而根据本发明提出的是，使用大气等离子体和惰性的载气，从而一方面可以将用于开始进行化...
该专利属于等离子创新有限公司;苏拉仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过等离子创新有限公司;苏拉仪器有限公司授权不得商用。

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