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本发明的负电荷氧原子的制造装置为加热由钙铝酸盐复合氧化物构成的构件，将负电荷氧原子抽出的负电荷氧原子的制造装置，上述钙铝酸盐复合氧化物薄膜形成于氧化锆板或由氧化钇稳定化氧化锆构成的基板上，上述构件加热用加热器邻接于由上述钙铝酸盐复合氧化物形...
该专利属于株式会社日本氧化所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日本氧化授权不得商用。

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