下载一种氮化镓基发光二极管的外延片的制备方法的技术资料

文档序号:14195274

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本发明公开了一种氮化镓基发光二极管的外延片的制备方法,属于光电子制造技术领域。该方法包括在衬底上生长缓冲层、三维成长层、u‑GaN层、n型层、应力释放层、有源层和p型层,n型层包括第一n‑GaN高温层、第二GaN低温层和第三n‑GaN高温层...
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