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用于对衬底(26)施加流体的设备(10)及方法，所述设备包括绕轴线旋转且对衬底(26)的第一侧施加流体的第一辊子(14)。第一辊子(14)包括用于对所述衬底供应气体(42)的出口(38)，以在流体施加到所述衬底(26)之后引导所述衬底的移动...
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