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本发明提供一种三氯硅烷制造装置及三氯硅烷制造方法，即使在反应炉上部也可使从反应炉下部导入的氯化氢气体有效地参与反应，提高反应效率。在三氯硅烷制造装置中，利用氯化氢气体使供给到反应炉内的金属硅粉末一边流动一边发生反应，从反应炉的上部取出通过该...
该专利属于三菱麻铁里亚尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱麻铁里亚尔株式会社授权不得商用。

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