下载使用有无机物质作为变色层的等离子体处理检测指示器的技术资料

文档序号:14191504

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本发明提供一种等离子体处理检测指示器,其为具有通过等离子体处理而变色的变色层的指示器,其中,通过等离子体处理而变色层气体化或成为微细的屑而飞散的情况被抑制到对电子器件特性不带来影响的程度,且耐热性良好。本发明具体提供一种等离子体处理检测指示...
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