下载一种免开隔热笼铸锭装置及方法的技术资料

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本发明涉及多晶硅铸锭领域,特别是一种免开隔热笼铸锭装置及方法。装置包括隔热笼,所述隔热笼内侧面设有侧部加热器,所述隔热笼内顶部设有顶部加热器,所述侧部加热器、顶部加热器通过双电源分开控制。熔化步骤中,气冷DS块温度控制不高于1400℃,所述...
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