下载一种铜或铜合金布线用水系光阻剥离液的技术资料

文档序号:14182919

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种铜或铜合金布线用水系光阻剥离液,按质量百分比计包括:5~25%的醇胺、5~30%的醇、0.01~3%的金属抗蚀剂、0.1~1%的有机酸和25~75%的有机溶剂。本发明铜或铜合金布线用水系光阻剥离液组分简单,采用碱性较低的醇胺...
该专利属于江阴江化微电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴江化微电子材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。