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高纯硅提纯炉制造技术
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文档序号:1417965
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本实用新型公开了一种高纯硅提纯炉设备。它由炉体、炉架、升降机、坩埚、循环冷却盘、硅钼棒、温度感应器及控制柜组成,硅钼棒、温度感应器、坩埚、循环冷却盘设置在炉体内。炉体密封度好,控制升温、降温的温度、时间、变化速度精确,使硅熔液在结晶过程与杂...
该专利属于黄东;赵晓江;徐岳生所有,仅供学习研究参考,未经过黄东;赵晓江;徐岳生授权不得商用。
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