下载太赫兹近场探测器及其光电导天线的技术资料

文档序号:14166145

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本实用新型涉及一种太赫兹近场探测器和光电导天线,以及该光电导天线的制作方法。所述光电导天线包括衬底,粘合在衬底上的低温砷化镓波片层,粘合在低温砷化镓波片层上的偶极天线,偶极天线为低温砷化镓薄片,设置在偶极天线上的绝缘层,以及设置在绝缘层上的...
该专利属于深圳市太赫兹系统设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市太赫兹系统设备有限公司授权不得商用。

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