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本发明提供了一种干式微小颗粒分离方法。该方法通过在真空室内设置上极板、下极板、颗粒池、颗粒分离器，在真空室外设置射频电源、半导体激光器、斩波器、扩束镜；接通射频电源，可在上下极板之间产生均匀的等离子体。颗粒分离器位于下极板上，其包括中间部位...
该专利属于河北大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北大学授权不得商用。

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