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一种改善恢复时间和软度的快恢复二极管制造技术
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文档序号:14152714
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一种改善恢复时间和软度的快恢复二极管涉及半导体器件领域,该二极管减少发射区面积,即减少少数载流子注入的PN结的面积。在所述二极管的发射区等间距制作凹槽,所述凹槽的深度大于发射区的深度;在所述凹槽内制作绝缘层,使耐压漂移区与金属电极隔离。在通...
该专利属于吉林华微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林华微电子股份有限公司授权不得商用。
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