下载一种基于粗化外延片的LED芯片的电极色差改善方法的技术资料

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本发明提出一种基于粗化外延片的LED芯片的电极色差改善方法,将供后续制备电极的让位区域的GaN外延片表面蚀刻至平整,使其表面粗糙度相同,在制备电极后无色差,完全消除色差异常,节省了由该色差异常产生的成本;且后续制备透明导电层与电极,该区域平...
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