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一种具备场效应晶体管功能的透射电镜样品台载样区，包括探针区域和空白区域，空白区域没有晶体管，只是覆盖有SiO2为绝缘层的Si衬底，探针区域包括不少于1个的探针，每个探针包括依次排列的不少于1个的场效应晶体管，每个场效应晶体管以Si为基底材料...
该专利属于天津理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津理工大学授权不得商用。

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