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本发明公开了含有小于约１０ｐｐｍ（摩尔）以下杂质（例如四氟甲烷（ＰＦＣ－１４））的三氟化氮（ＮＦ↓［３］）。公开了使用夹带剂的共沸与萃取蒸馏方法，该方法用于将ＮＦ↓［３］和ＰＦＣ－１４彼此分离和从含其他电子工业材料的混合物中分离。...
该专利属于纳幕尔杜邦公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳幕尔杜邦公司授权不得商用。

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