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本发明公开了一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统，该悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线和四个不同长度的MEMS悬臂梁：当待测微波功率较小时，由于静电力较小，只有较长的MEMS悬臂梁臂...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

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