下载薄膜晶体管阵列基板及其制备方法和显示器件的技术资料

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本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法和显示器件,方法包括:采用第一道光罩制程对形成在基板上的多晶硅膜层进行图案化处理;采用第二道光罩制程对依次形成在图案化多晶硅膜层和未被多晶硅膜层覆盖的基板上的第一金属层、第二绝缘层和第二金属层进...
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