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本发明提供了一种声板波自聚焦光干涉扫描探测系统。系统中，信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，通过压电换能器作用在样品上产生声板波；外差探测激光干涉仪发出测量臂的激光照射在样品表面经反射返回，与参考臂的激光相干叠加产生干涉信号，位于位...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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