温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种超结结构，利用多层外延生长技术，通过降低外延掺杂浓度，而主要通杂质注入方式控制超结结构的电荷平衡。本实用新型通过简单的工艺步骤实现了超结结构，大大降低了工艺难度，同时保证器件很好的特性；本实用新型利用多层外延生长技术，通过...
该专利属于中航（重庆）微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中航（重庆）微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。