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硅的制造方法技术
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文档序号:1413307
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一种硅的制造方法,包含下述工序:一边将基体材料的表面加热到并保持在不到硅的熔点的温度、一边使硅烷类与该基体材料的表面接触从而使硅析出的工序;以及使基体材料的表面温度上升、使已析出的硅的一部分或全部熔融并从基体材料的表面落下且进行回收的工序。...
该专利属于株式会社德山所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社德山授权不得商用。
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