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回收气体的系统和方法技术方案
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文档序号:1413030
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本发明涉及一种回收和净化气体如来自冷喷涂涂装工艺的受污染氦气的三段法以及使用所述三段法的系统。其步骤包括:a)从气室中将气体导入到去除微粒的装置中形成无微粒的气体,并将第一部分的无微粒气体循环至气室中;b)在通过选择性气体净化膜之前使第二部...
该专利属于普莱克斯技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过普莱克斯技术有限公司授权不得商用。
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