下载一种多晶硅铸锭炉加热器的技术资料

文档序号:14127144

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本申请公开了一种多晶硅铸锭炉加热器,包括顶加热器和位于所述顶加热器四周的下部的侧加热器,所述顶加热器利用至少二个吊装板与所述侧加热器连接,所述侧加热器包括四个形状相同且对称的首尾相接的加热器单体,每个所述加热器单体包括至少二个互连的U型加热...
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