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一种基于霍尔效应的梁式压力传感器制造技术
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下载一种基于霍尔效应的梁式压力传感器的技术资料
文档序号:14124315
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本发明涉及基于霍尔效应的梁式压力传感器,包括承载基体、磁铁和两霍尔器件;所述承载基体中部挖空形成底座、位于底座顶部的负载梁、以及位于底座和负载梁之间并与外界贯通的压力测量槽;所述负载梁底面中部往底座方向延伸,并于压力测量槽中形成一磁铁安装座...
该专利属于韶关学院所有,仅供学习研究参考,未经过韶关学院授权不得商用。
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