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本发明公开了一种白光干涉原子力显微镜探针自动标定系统及自动标定方法，其中实现自动标定控制方法中主要涉及的自动标定系统包括：标定样板，原子力探针组件，原子力探针，干涉显微物镜，面CCD及光路系统，水平二维电机运动平台，垂直电机运动和垂直纳米位...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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