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本发明提供一种功率金氧半导体场效晶体管及其制作方法。一种功率金氧半导体场效晶体管包括基材、介电层、多个焊球、第一及第二图案化金属层；基材包括有源表面、背面、位于有源表面的源极区与栅极区及位于背面的漏极区；第一图案化金属层设置于有源表面并包括...
该专利属于杰力科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杰力科技股份有限公司授权不得商用。

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