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文档序号:14116758

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本发明提供一种涂布机,用于向基板上涂布光刻胶,所述涂布机设有驱动马达、线性喷嘴和挡片,所述驱动马达用于驱动所述线性喷嘴进行前后或上下运动,所述线性喷嘴包括用于向下方喷涂所述光刻胶的喷口,所述挡片设置在所述喷口的端部,以用于阻挡所述喷口的所述...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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