下载N型鳍式场效应晶体管的形成方法的技术资料

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一种N型鳍式场效应晶体管的形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底具有鳍部;形成横跨所述鳍部的栅极结构,所述鳍部包括被所述栅极结构覆盖的第一侧壁和与所述第一侧壁相对的第二侧壁;对所述栅极结构两侧的鳍部的第一侧壁进行第一离子注入;对所述...
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