下载纳米碳制造装置和纳米碳制造方法的技术资料

文档序号:1411245

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本发明提供用于稳定地大量制造纳米碳的制造方法和制造装置。在制造腔室(107)中,将圆筒形石墨棒(101)固定至旋转装置(115)上,并使得能够以石墨棒(101)的长度方向为轴进行旋转,且还可以在长度方向上左右移动。用来自激光源(111)的激...
该专利属于日本电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气株式会社授权不得商用。

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