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本实用新型公开了一种用于激光加工的样品距离检测装置，包括沿主光路顺序排列的用于发出加工光束的激光器、激光功率调谐机构、快门、第一偏振分光棱镜、全反镜、激光光束直径调整系统、第二偏振分光棱镜、物镜和用于放置样品的三维移动平台，特点是三维移动平...
该专利属于宁波大学所有，仅供学习研究参考，未经过宁波大学授权不得商用。

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