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本实用新型公开了一种多层介质‑金属‑介质波导温湿度表面等离子共振传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层二氧化硅层、第一金层、玻璃层、第二金层和顶层铌酸锂层，入射光由玻璃层侧面以大于表面等离子产生共振的角度入射，所述的玻璃层与二氧化硅层、第一...
该专利属于广西师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过广西师范大学授权不得商用。

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