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本披露涉及新颖的富勒烯衍生物，由其制备的正性和负性光致抗蚀剂组合物以及使用它们的方法。这些衍生物、它们的光致抗蚀剂组合物以及方法对于使用例如紫外线辐射、极端紫外线辐射、超越极端紫外线辐射、X射线、电子束以及其他带电粒子射线的高速、精细图案处...该专利属于亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;理查德·爱德华·帕尔默;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;杨东旭所有，仅供学习研究参考，未经过亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;理查德·爱德华·帕尔默;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;杨东旭授权不得商用。