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基板传送装置及系统制造方法及图纸
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文档序号:14096756
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本实用新型涉及一种基板传送装置,用于传送基板。基板传送装置,包括两个传送导轨,传送导轨设置于基板的传送方向上,两个传送导轨相互平行,且两个传送导轨的间距能够调节;传送导轨包括固定轨和运动轨,运动轨与固定轨相适配,运动轨能够沿基板的传送方向相...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。
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