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碳化硅微粉回收的方法技术
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文档序号:1409179
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本发明公开了一种碳化硅微粉回收的方法,其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多级处理,包括如下步骤:固液分离、碳化硅粒度分级、碳化硅提纯、微粉干燥、分散筛松。本发明的方法使回收的碳化硅微粉达到与全新碳化硅微粉相同或相近的性能指标,并...
该专利属于张捷平所有,仅供学习研究参考,未经过张捷平授权不得商用。
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