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本发明提出了一种上环形下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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